9月27日，国家高新区MEMS(微机电系统的英文缩写)研究院“MEMS研发中试平台”设备配置方案论证会在清华大学精密仪器系会议室举行。论证会由清华大学机械工程学院院长尤政主持，邀请东南大学、重庆大学、北京大学、中国电科55所微纳米研究开发中心、哈尔滨工业大学、北京邮电大学有关专家，共同对MEMS研发中试平台的设备配置方案进行论证评审，并提出意见与建议。
    淄博高新区管委会副主任牛圣银出席了设备配置方案论证会，向与会专家介绍了淄博高新区的产业基础、政策环境及国家高新区MEMS研究院的成立背景、功能定位。专家组听取了研究院筹备小组关于设备配置方案的汇报，一致通过MEMS研发中试平台的设备配置方案，认为其设备配置方案和预算基本合理，满足建设目标要求。同时建议加强设备生产能力的配套，保障关键设备的先进性，增加二次配管、三废处理等配套经费的预算。
    国家高新区MEMS研究院由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院合作建设，以推进MEMS产业化，提升相关产业升级为目标，将主要开展MEMS研发中试平台的建设和运营、MEMS产品的中试和工程化研究、MEMS科技成果的转化和推广、MEMS专业人才的引进和培养等工作。研究院已注册为事业法人，将以惯性MEMS器件陀螺、微开关/微继电器为首批实施项目，经过大量的调研、考察和征求意见，确定了“MEMS研发中试平台”的设备配置方案。据了解，设备配置方案通过评审后，将进入设备招标和建筑工程设计阶段。